SONIC超聲波微液體流量計μLF-300S

更新時間：2025-04-15

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微量液體流量計μLF-300S.png

用于IPA、純水、藥液等半導體制造工序中微小區(qū)域的流量控制

測量1ml/min以上的微小流量利用數(shù)字信號處理高精度測量微小流量

-傳感器部的結構不與流體接觸范圍廣

μLF-300S

模型	μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸）
測量原理	超聲波傳播時間差法
待測液體	純水、水溶液、各種化學溶液 * 使用水以外的液體時，請事先確認。
適用流體溫度范圍	15℃～80℃ *60℃以上使用請?zhí)崆按_認
流體壓力	0.5MPa以下
流體運動粘度	100mm^2/秒或更小
流量范圍	0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
測量精度	±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 條件：室溫、恒溫水） ±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min） ±0.5%RD（1/4英寸： 0～199ml/min） 800～4000ml/min 條件：室溫、恒溫水） ±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min）
重復性	±0.2%（純品，液溫±0.5℃，30秒平均值）
電源	直流24V±10%
功耗	3.6W以下
重量	轉(zhuǎn)換器240g，檢測器70g
尺寸寬x高x深(毫米)	轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127 檢測器 90 x 25 x 20（不含管）
檢測部分
管材	PFA（氟樹脂）
管徑	1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米
結構	相當于IP65
附帶電纜	5m，連接器連接
輸入部分
數(shù)字輸出	4 線 RS-422、4 線 RS-485
模擬輸出	4-20mA（瞬時流量），負載電阻500Ω以下
集成脈沖輸出	1ch（集電極開路）
報警輸出	1ch（集電極開路）
接點輸入	1ch（零流量設置或積分清除）
按鍵輸入	4個輸入按鈕