ULVAC愛發科離子真空計EtherCAT規格

皮拉尼真空計基于氣體熱傳導性與壓力相關的原理工作，ULVAC 愛發科通過優良的制造工藝與技術優化，極大提升了測量精度。其能夠精準測量從低真空到中真空范圍的壓力值，精度可達滿量程的 ±1% 甚至更高 。例如在半導體制造工藝里，對真空環境要求嚴苛，ULVAC 愛發科皮拉尼真空計可精確反饋真空室內的壓力變化，為諸如物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等工藝提供穩定且準確的真空度數據，確保薄膜沉積的均勻性與一致性，有助于提升芯片制造的良品率與性能。

快速響應

該真空計具備快速的響應特性，能在極短時間內感知真空系統內壓力的細微變化，并及時輸出對應的測量信號。一般情況下，其響應時間可在毫秒級別，這使得操作人員能夠迅速了解系統內的真空狀態變化 。在需要頻繁調整真空度的科研實驗或工業生產過程中，快速響應的皮拉尼真空計可以讓相關人員及時對真空設備進行調控，避免因反應滯后導致的工藝偏差。如在真空鍍膜過程中，能實時監測鍍膜腔室壓力變化，及時調整鍍膜參數，保證鍍膜質量。

寬量程適用

ULVAC 愛發科皮拉尼真空計覆蓋了較寬的壓力測量范圍，通常可從大氣壓一直測量至 10?3 Pa 甚至更低的真空度 。這種寬量程的設計使其適用于多種不同應用場景。在食品真空包裝行業，可用于檢測包裝過程中的真空度，從初始抽氣階段的較高壓力，到最終密封前接近高真空的狀態，都能準確測量；在電子半導體領域，無論是芯片制造前的真空腔室準備，還是后續精密工藝過程中的真空監測，寬量程的皮拉尼真空計都能全程提供可靠的壓力數據。

ULVAC愛發科離子真空計EtherCAT規格

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